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7

EM

  • 兩點量測​

  • 不同OD space

  • MD經VD

  • MG經VG

  • B_M0經VB

  • 不同Overlay

  • ​不同的Array數&長度差異

8

SM

  • 兩點&四點量測

  • 不同OD space

  • M0經VD

  • M0經VG​

  • B_M0經VB

  • ​KV / 2D / 3D / Vc

  • 不同VDR尺寸

9

TDDB

  • ​兩點量測

  • MD - MG

  • MD - VG

  • MD - M0

  • MD - OD

  • on-OD / on-STI​

  • Twin Tower / PD

  • SPR condition (FTV/VB..)​​

10

VBD

  • ​兩點量測

  • MD - MG

  • MD - VG

  • MD - M0

  • MD - OD

  • on-OD / on-STI​

  • Twin Tower / PD

  • SPR condition (FTV/VB..)​​

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