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11

EM

  • ​兩點~五點量測

  • 不同L-L Space​​

  • 不同E-L Space

  • 不同2-Side Enclosure

  • 不同Stress Line寬度

  • 不同Via顆數

  • ​不同Via尺寸

12

SM

  • 兩點&四點量測

  • 不同Wn / Wn+1

  • 不同BL / BW

  • 2D / 3D / KV / VC

  • ​End - Run

  • 不同Via顆數

  • 不同Via尺寸

13

IRMS

  • 六點&八點量測
  • Self-Heating Coupling
  • OD Heater擺放位置
  • OD Heater數量
  • 不同Metal Sensor
  • 不同Mn寬度
  • ​散熱Dummy Metal數量​

14

TDDB

  • ​兩點量測

  • Line - Line

  • Via induce metal bridge, VIMB

  • Tiger-teeth, TT

  • MOM

  • 不同Via顆數

  • ​with Twin Tower​

15

VBD

  • 兩點量測

  • Line - Line

  • Via induce metal bridge, VIMB

  • Tiger-teeth, TT

  • MOM

  • 不同Via顆數

  • ​with Twin Tower​

16

Thermal

  • 六點&八點量測

  • HiR Coupling

  • Heater擺放位置

  • Heater數量

  • 不同Metal Sensor

  • 不同HiR寬度

  • ​with TSV / Via Tower

17

Galvanic

  • ???

  • AAA

  • BBB

  • QQQ

  • FFF

  • GGG

  • VVV

18

Strain

  • 兩點&四點量測

  • Stress Sensor

  • Crack Sensor

  • 不同Array數

  • 不同開口方向

  • 沿X軸擺放 / 沿Y軸擺放

  • ​四邊形 / 八邊形​

19

Pin Hole

  • OOO

  • PPP

  • <<<

  • >>>

  • ZZZ

  • YYY

  • XXX

20

PID

  • ​兩點量測

  • 受害者M0 - M0

  • 受害者VD - M0

  • 受害者VG - M0

  • 受害者不同Spacing

  • 天線By Layer / Cumulative

  • 天線VIA面積有嚴格上限

21

MiM

  • ​兩點量測

  • MiM_TDDB

  • MiM_PID

  • MiM_Efuse

  • 不同Plate Area / 串聯組數

  • 不同RDL尺寸

  • with / without Hole​

22

sRDL

  • ​四點量測​

  • sRDL_EM

  • sRDL_SM

  • 圓形或方形

  • RV to Mtop

  • RV to RDL

  • SPR condition (Backside)​

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